۱۴۰۵/۳/۲۵ | | 2026-06-15

از ۴۰ نانومتر تا زیر ۱۰ نانومتر؛ برنامه ۱۰ ساله روس‌ها برای ساخت دستگاه لیتوگرافی EUV